傳感器芯片配有電容式相對濕度傳感元件和一-個标準的帶隙溫度傳感元件,電容式相對濕度傳感元件是高分子薄膜電容制成。當環境濕度改變時，薄膜電容的介電常數發生變化,使其電容量也發生變化,其電容變化量與相對濕度成正比的。